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以金属锌(Zn)和铝(Al)为靶材采用射频(RF)反应共溅射技术在低温(200℃)玻璃衬底上沉积了铝掺杂氧化锌(ZnO∶Al)薄膜。
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高功率钕玻璃激光装置和靶场系统及其LPX实验研究
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主要内容和创新点如下:Ⅰ.以纯铜靶和氮气为原料,采用反应射频磁控溅射法在玻璃基底上成功制备了氮化铜纳米薄膜。
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It is pointed out that our target is to increase glass tank service life from 3 years to 5 years.
把玻璃熔窑寿命由目前的3年左右提高到5年左右是当前我国玻璃工业用耐火材料发展的首要目标。
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本文研究用脉冲激光烧蚀石墨靶方法在单晶硅、K9玻璃等衬底上生长超硬非晶碳膜。
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采用直流磁控溅射法,分别用ITO陶瓷靶、In-Sn合金靶,在玻璃基片上镀膜。
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